本發(fā)明涉及與基于微機電系統(tǒng)(MEMS)的電化學(xué)傳感器相關(guān)的裝置和相關(guān)聯(lián)的制造方法，該裝置和相關(guān)聯(lián)的制造方法包括接觸布置在基板上的兩個或更多個電極的電解質(zhì)，以及設(shè)置在傳感器的至少感測電極的頂部上的高表面積電極。高表面積電極的各種實施方案可增大由基于MEMS的電化學(xué)傳感器響應(yīng)于一種或多種目標(biāo)化學(xué)物質(zhì)或氣體而產(chǎn)生的電流或電勢，并且允許制造和操作較小的電化學(xué)傳感器。電極可電耦合到控制和測量電路。在一些示例中，控制和測量電路可形成于同一基板上。