本發(fā)明公開了一種耐腐蝕耐磨損六硼化鑭復合碳薄膜及其沉積方法，主要用于氯堿化工、石油化工、核工業(yè)和廢水處理等閥門裝置耐磨防腐。本發(fā)明六硼化鑭復合碳薄膜的結構：自工件表面由內(nèi)向外依次為Cr粘結層、CrN/六硼化鑭多層結構、六硼化鑭復合碳薄膜。本發(fā)明六硼化鑭復合碳薄膜多層結構和梯度漸變及非晶納米晶彌散強化，單一薄膜的液流通道被打斷，阻止了多孔涂層液體易于穿過孔道腐蝕界面的可能；六硼化鑭和氮化鉻的交替設計，提高了基底膜硬度和承載性能；利用反應磁控濺射沉積的六硼化鑭復合碳薄膜具有很強的化學惰性和低摩擦性能，可以保障閥門密封表面在腐蝕介質(zhì)中長壽命、高可靠服役。