本發(fā)明公開了一種電光調(diào)制器及其制作方法,該電光調(diào)制器包括在低介電常數(shù)襯底上至下而上依次排列的低介電常數(shù)鍵合層、鈮酸鋰波導(dǎo)結(jié)構(gòu)、在微波共面波導(dǎo)傳輸線的基礎(chǔ)上加載形成的周期性金屬電極。采用本發(fā)明能夠降低針對電極間距引起的微波損耗。
聲明:
“電光調(diào)制器及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)