本發(fā)明公開了一種內(nèi)嵌雙層膜的LNOI晶片及其制備方法，該晶體的整體結(jié)構(gòu)自基底向上層依序包括：硅或鈮酸鋰基底(1)、二氧化硅緩沖層(2)、金電極層(3)、半導(dǎo)體有機高分子層(4)和鈮酸鋰薄膜層(5)，所述金電極層(3)和所述半導(dǎo)體有機高分子層(4)為內(nèi)嵌雙層膜。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明極大地降低了波導(dǎo)的損耗，波導(dǎo)性能優(yōu)良；使LNOI材料形成電流回路起到了很重要的便利作用，顯著提高了LNOI材料形成光學(xué)或微電子學(xué)器件的可行性；本發(fā)明將直接推動基于LNOI平臺的集成光路和器件向?qū)嵱没较蜻~進，可為下一代光電混合集成芯片的研發(fā)提供支撐。