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單晶襯底及其切割方法

964   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網  
2023-03-18 23:28:26
公開一種單晶襯底及其切割方法。單晶襯底包括具有SAW傳播表面的鉭酸鋰襯底;和在所述表面上具有用來發(fā)射和/或檢測表面聲波的電極的輸入和輸出IDT,其中表面波的傳播方向平行于X’軸,并且該襯底還具有垂直于所述表面的Z’軸和平行于該表面且垂直于X’軸的Y’軸,鉭酸鋰襯底具有由修正軸X、Y和Z所限定的晶體取向,軸X’、Y’和Z’的相對取向由歐拉角Φ、Θ和Ψ限定,其中Φ的范圍為-5°≤Φ≤+5°,Θ的范圍為70°≤Θ≤90°,Ψ的范圍為85°≤Ψ≤95°,或其中Φ的范圍為-5°≤Φ≤+5°,Θ的范圍為20°≤Θ≤40°,Ψ的范圍為5°≤Ψ≤25°,或其中Φ=0°,Θ=168°和Ψ=90°。
聲明:
“單晶襯底及其切割方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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