本發(fā)明公開了一種三倍頻紫外激光器，上述三倍頻紫外激光器包括光連接的種子源、激光放大器及三倍頻模塊，種子源為增益開關(guān)皮秒種子源；激光放大器為光連接的多級(jí)放大器；三倍頻模塊在光路上依次包括聚焦透鏡、二倍頻晶體及其加熱爐、三倍頻晶體及其加熱爐、紫外光分離器和準(zhǔn)直器，其中聚焦透鏡、二倍頻晶體及其加熱爐、三倍頻晶體及其加熱爐共軸設(shè)置，二倍頻晶體為一類相位匹配的三硼酸鋰(LBO)晶體，三倍頻晶體為二類相位匹配的三硼酸鋰(LBO)晶體。按照本發(fā)明實(shí)現(xiàn)的三倍頻紫外激光器，產(chǎn)生的種子光重復(fù)頻率可調(diào)，脈寬可調(diào)，且為皮秒量級(jí)，并且是單模、線偏振光，經(jīng)放大和三倍頻后，紫外激光的特征與種子光一致，功率可達(dá)35W，效率高達(dá)50％。