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接合基板、聲表面波元件、聲表面波元件設(shè)備和接合基板的制造方法

937   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 23:24:42
本發(fā)明的接合基板具有以與晶體X軸交叉的角度被切割的水晶基板、和在所述水晶基板上進(jìn)行層疊的壓電基板,優(yōu)選為水晶基板的切割角度相對于晶體X軸具有85~95度的范圍的角度,優(yōu)選為水晶基板的聲表面波傳播方向相對于晶體Y軸具有15~50度的角度,作為壓電基板,優(yōu)選為使用鈮酸鋰或鉭酸鋰,優(yōu)選為壓電基板具有厚度h相對于聲表面波的波長λ具有0.02~0.11λ的關(guān)系。
聲明:
“接合基板、聲表面波元件、聲表面波元件設(shè)備和接合基板的制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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