本發(fā)明屬于半導體工藝技術領域,具體涉及一種混合集成光纖陀螺光學
芯片,包括基底、光源、硅基3dB耦合器、鈮酸鋰Y分支相位調制器、及信號探測器,硅基3dB耦合器基于硅基二氧化硅光波導技術,包括相互連通的Y分支波導、兩個90°圓弧波導、錐形波導和兩個直波導,錐形波導的寬端作為光學芯片的光輸入端口,所述光源正對光輸入端口,與Y分支相連的直波導作為光學芯片的信號輸出端口,信號探測器的光敏面正對信號輸出端口,與90°圓弧波導相連的直波導作為光傳輸端口,與鈮酸鋰Y分支相位調制器3的基波導端面通過波導耦合工藝拼接固定。本發(fā)明消除了光纖熔接點,具有集成度高、體積小、功耗低、性能好、可靠性和環(huán)境適應性好等優(yōu)點。
聲明:
“混合集成光纖陀螺光學芯片” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)