本文所描述的是針對(duì)在電極(例如Li金屬、LiCoO2、WO3、NiO等)上沉積LiPON、或其它的鋰離子傳導(dǎo)性電解質(zhì)、薄膜的，用于改良薄膜電化學(xué)器件(例如薄膜電池和電致變色器件)的制造的方法和設(shè)備。一種在沉積系統(tǒng)中制造電化學(xué)器件的方法可以包含：大致上在電化學(xué)器件的電極層的一部分表面的周圍設(shè)置導(dǎo)電層；將導(dǎo)電層電連接到導(dǎo)電的、但電浮動(dòng)的表面；以及在沉積室內(nèi)、在電化學(xué)器件的電極層的所述一部分表面上沉積鋰離子傳導(dǎo)性固態(tài)電解質(zhì)層，其中沉積包含在沉積室內(nèi)形成等離子體；其中在沉積的過程中，導(dǎo)電的、但電浮動(dòng)的表面在沉積室內(nèi)。