本發(fā)明的課題是提供一種在使用準(zhǔn)縱漏表面聲波的表面聲波器件中能夠高精度地進(jìn)行頻率調(diào)節(jié)的表面聲波器件的頻率調(diào)節(jié)方法。作為解決手段,通過蝕刻形成有IDT電極(2)的、由鉭酸鋰基板或鈮酸鋰基板或四硼酸鋰基板構(gòu)成的壓電基板(1)的在厚度方向上與形成有IDT電極(2)的面相對的面(基板背面)(1b),進(jìn)行表面聲波器件(10b)的頻率調(diào)節(jié)。
聲明:
“表面聲波器件的頻率調(diào)節(jié)方法、表面聲波器件及電子設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)