本發(fā)明提供了一種單片集成光子卷積神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)計算系統(tǒng)及其制備方法，基于鈮酸鋰?硅新型晶圓，在同一個芯片上集成集成設(shè)置于鈮酸鋰?硅晶圓基底上的信號輸入陣列模塊、數(shù)據(jù)重排陣列模塊、權(quán)值陣列模塊、光電轉(zhuǎn)換陣列模塊、直流驅(qū)動電路模塊、射頻驅(qū)動電路模塊以及電子信號處理電路模塊，避免了多個芯片之間的光電耦合損耗，保證了未來大規(guī)模光子神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)計算系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)；此外，由于利用了鈮酸鋰?硅晶圓，本發(fā)明提出的單片集成光子卷積神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)計算系統(tǒng)及其制備方法，在現(xiàn)有的CMOS兼容的工藝線上完成制備，大大降低了傳統(tǒng)鈮酸鋰刻蝕等工藝的成本。