基于LNOI薄膜的集成微型光幅相控制器，屬于光電子技術(shù)領(lǐng)域，由LNOI薄膜上的光波導(dǎo)和行波電極所構(gòu)成，LNOI薄膜由鈮酸鋰層與SiO₂緩沖層構(gòu)成，在鈮酸鋰層上面采用沉積的方法形成鈮酸鋰異構(gòu)單模波導(dǎo)構(gòu)成光波導(dǎo)，在該光波導(dǎo)兩側(cè)設(shè)置相位控制器電極，構(gòu)成相位控制單元；之后光波導(dǎo)分為平行兩路，在該兩路光波導(dǎo)間設(shè)置幅度控制器電極，構(gòu)成幅度控制單元，之后該兩路光波導(dǎo)合束進(jìn)行干涉，作為光的幅相控制后的輸出波導(dǎo)。本發(fā)明可以根據(jù)需求對(duì)光場(chǎng)同時(shí)進(jìn)行相位和幅度的調(diào)控；并且波導(dǎo)結(jié)構(gòu)為薄膜鈮酸鋰與氮化硅異構(gòu)，使得幅相控制器具有低損耗、高調(diào)制效率、高集成度等優(yōu)點(diǎn)，具有潛在經(jīng)濟(jì)與應(yīng)用價(jià)值，能夠在光探測(cè)和光通信領(lǐng)域中得到廣泛的應(yīng)用。