本發(fā)明屬鋰離子薄膜電池技術領域，具體涉及一 種應用于全固態(tài)薄膜鋰電池的正極材料摻氮磷酸鐵薄膜 (FePON)及其制備方法，本發(fā)明采用射頻磁控濺射沉積法制備 摻氮磷酸鐵薄膜，其特點是薄膜在室溫下沉積，無需退火處理， 與固態(tài)電解質薄膜可形成良好匹配的界面。結合射頻磁控濺射 制備的鋰磷氧氮(LiPON)固態(tài)電解質薄膜與真空熱蒸發(fā)制備的 金屬鋰負極薄膜，組裝成全固態(tài)薄膜鋰電池。電池的比容量可 達63mAh/cm2－μm，循環(huán)次數(shù) 可達100次。這些結果表明：射頻磁控濺射方法制備FePON 正極薄膜，能應用于全固態(tài)薄膜鋰電池。