一種形成薄膜電池的方法，可以包括：在襯底中形成溝槽；在所述襯底的頂表面上沉積模板，其中所述模板與所述溝槽對(duì)準(zhǔn)；在所述溝槽中沉積陰極層，其中所述陰極層與所述模板直接接觸；以及將所述陰極層壓縮到所述溝槽中以減小所述陰極層的厚度。將所述陰極層壓縮到所述溝槽中可以包括使用壓頭將等靜壓力施加到所述陰極層上。該方法還可包括在所述陰極層的頂部上沉積電解質(zhì)層，在所述電解質(zhì)層的頂部上沉積陽(yáng)極層，以及在所述陽(yáng)極層的頂部上沉積陽(yáng)極集電體層。