本發(fā)明公開了一種薄膜鈮酸鋰電光調制器及其制備方法。包括從下到上依次布置的襯底、埋氧層、聚合物層和光波導層，在光波導層上面或者在光波導層下面的聚合物層之中布置金屬信號電極與金屬接地電極，光波導層上底面布置形成1*2分束器、馬赫曾德爾調制器和2*1合束器，1*2分束器和2*1合束器位于馬赫曾德爾調制器的兩側，且1*2分束器的兩個輸出端經(jīng)馬赫曾德爾調制器和2*1合束器的兩個輸入端連接。本發(fā)明避免工藝過程中由襯底帶來的微波損耗，降低工藝難度，提高調制效率，實現(xiàn)了超大帶寬，低損耗，實現(xiàn)緊湊且超高性能的電光調制器。