本實用新型提供一種鈮酸鋰調(diào)制器芯片的清洗系統(tǒng)，預(yù)沖洗裝置，用于提供霧化清洗液以沖洗待清洗的芯片；丙酮浸泡裝置，用于以丙酮浸泡經(jīng)所述預(yù)沖洗裝置的霧化清洗液沖洗后的芯片；酒精浸泡裝置，用于以酒精浸泡經(jīng)所述丙酮浸泡裝置處理后的芯片；強氧化劑清洗裝置，用于以強氧化劑清洗液浸泡經(jīng)所述酒精浸泡裝置處理后的芯片；除雜沖洗裝置，用于提供霧化清洗液以沖洗經(jīng)強氧化劑清洗裝置處理后的芯片。本實用新型提供的鈮酸鋰調(diào)制器芯片的清洗系統(tǒng)，利用該清洗系統(tǒng)可改善芯片表面的清潔度，可有效提高芯片合格率。