一種水熱法生長鈮酸鋰單晶薄膜或體單晶的方法。該方法是在高壓釜中，以含鋰化合物作為礦化劑，采用溫差水熱法或降溫水熱法使鈮酸鋰溶解并重結(jié)晶生長單晶薄膜或體單晶。水熱法可以在較低的溫度下實現(xiàn)保持鈮酸鋰化學(xué)計量的合成。同時，由于反應(yīng)環(huán)境為液相，十分有利于結(jié)晶反應(yīng)的均勻成核和擴(kuò)散，產(chǎn)物結(jié)晶性能良好。在此制備方法中，可通過引入氧化劑解決晶體中鈮元素價態(tài)不統(tǒng)一的問題。因此通過水熱法可以制備出具備高質(zhì)量的大面積單晶鈮酸鋰薄膜，并且有利于減少晶體的點缺陷和鈮價態(tài)偏離。本發(fā)明工藝過程簡單，易于控制，無污染，成本低，易于生產(chǎn)。