本發(fā)明公開一種光纖及鈮酸鋰晶片氣動加壓研磨機(jī)構(gòu)及研磨方法,包括三維空間定位裝置、氣動裝置與夾持機(jī)構(gòu)。三維空間定位裝置的z軸移動機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)接板上接有氣動裝置,氣動裝置上安裝有夾持機(jī)構(gòu)。光纖鈮酸鋰晶片通過夾持裝置加持,并通過調(diào)節(jié)滑桿、梁式力傳感器與氣缸活塞桿相連。三維空間定位裝置可實(shí)現(xiàn)鈮酸鋰晶片夾持工具的精確定位及研磨微進(jìn)給;氣動裝置可實(shí)現(xiàn)研磨壓力的改變是一個漸變過程,鈮酸鋰晶片夾持工具可穩(wěn)定、快速地實(shí)現(xiàn)鈮酸鋰晶片的夾持。本發(fā)明用于實(shí)現(xiàn)光纖鈮酸鋰晶片的研磨過程中研磨壓力恒定不變、研磨壓力的變化過程為漸變過程,保證研磨后的端面質(zhì)量以及研磨過程的平穩(wěn)可靠,同時方便對研磨后的鈮酸鋰晶片中的光纖端面進(jìn)行觀測。
聲明:
“光纖及鈮酸鋰晶片氣動加壓研磨機(jī)構(gòu)及研磨方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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