本發(fā)明公開了一種低溫超聲霧化熱解沉積鋰摻雜立方相SnO2薄膜的方法，該方法以氯化亞錫為溶質(zhì)、無水乙醇與去離子水為溶劑、無機鋰鹽為摻雜劑混合成溶液，將溶液置于霧化罐中，襯底設(shè)置于夾具中，對襯底進行超聲霧化熱解噴涂，得到沉積于襯底上透過率導電性優(yōu)良的SnO2薄膜。鋰離子以間隙離子的形式存在于SnO2晶格間隙中，可提供一個導電電子，提高自由載流子的濃度，提升透明導電薄膜的綜合性能。本發(fā)明采用高頻超聲波來霧化前驅(qū)溶液，可獲得細小、均勻的霧氣，通過對垂直襯底夾具的改進，能降低制備所需溫度，節(jié)約能源，保護加熱平臺；本發(fā)明能在較低壓力和較低溫度下制備立方相二氧化錫薄膜。