一種用于鋁酸鋰晶體材料的高精密平坦化方法，其特征在于該方法包括 下列步驟：①用堿性SiO2拋光液進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光，對(duì)(100)面和(302)面 的γ-LiAlO2晶片進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光；②清洗；③在空氣氣氛下低溫快速退火， 退火溫度為750～850℃，退火時(shí)間為15分鐘～1小時(shí)。本發(fā)明可以得到表面粗 糙度RMS值＜0.4nm的鋁酸鋰晶片。本發(fā)明具有低成本、高精度的優(yōu)點(diǎn)。