本發(fā)明公開了一種具有透明導(dǎo)電鎳酸鋰底電極的外延鈮酸鍶鋇薄膜及制備方法。在MGO基板一面外延沉積LNO鎳酸鋰透明導(dǎo)電層LNO薄膜,再在LNO薄膜上外延制備SBN薄膜。其制備步驟如下:首先以碳酸鋰,氧化鎳,氧化鈮,碳酸鍶,碳酸鋇為原料,用固相燒結(jié)法分別制備鎳酸鋰靶材和鈮酸鍶鋇靶材;其次將(001)MGO基板清洗后放入反應(yīng)室,反應(yīng)室抽真空,并加熱基板,以氧氣為保護(hù)氣體,引入反應(yīng)室中,脈沖激光濺射靶材,在基板上先后外延沉積鎳酸鋰導(dǎo)電電極和鈮酸鍶鋇薄膜。本發(fā)明制備方法簡單,制得的鈮酸鍶鋇薄膜為(001)方向外延生長,薄膜外延性好,質(zhì)量高,電光系數(shù)大(R33可達(dá)180～230PM/V),具有良好的應(yīng)用前景。