由多個(gè)層的堆疊來(lái)實(shí)施的鋰微電池的制造方法，所述多個(gè)層依次包括：由第一材料制成的第一層(11)，由第二材料制成的第二層(12)，固體電解質(zhì)層(13)和第一電極(14)。該方法還包括蝕刻形成由第一材料制成的第一圖案(M1)以及由第二材料制成的第二圖案(M2)，該第二圖案限定了該電解質(zhì)層(13)的覆蓋區(qū)域(13”)以及非覆蓋區(qū)域(13’)。然后用第二圖案(M2)作為蝕刻掩模來(lái)蝕刻非覆蓋區(qū)域(13’)。在蝕刻該第一圖案(M1)之后，在第二圖案(M2)上形成了鋰基層，該鋰基層和該第二圖案形成了第二鋰基電極。