本發(fā)明屬鋰離子薄膜電池技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種 鋰離子薄膜電池的固態(tài)電解質(zhì)鋰鑭鈦氧薄膜(LLTO)的制備方 法。本發(fā)明采用電子束熱蒸發(fā)沉積法制備鋰鑭鈦氧薄膜，其特 點(diǎn)是薄膜的沉積面積大，沉積速率高，其鋰離子的離子導(dǎo)電率 可達(dá)2×10－7S/cm。結(jié)合射頻磁 控濺射制備的LiCoO2或 LiMn2O4陰極薄膜，射頻磁控濺射制備的鋰磷氧氮(LiPON)保護(hù) 層薄膜與真空熱蒸發(fā)制備的金屬鋰陽極薄膜，組裝成全固態(tài)薄 膜鋰電池。電池的比容量為 45mAh/cm2－μm和 24mAh/cm2－μm，循環(huán)次數(shù)可 達(dá)150次。這些結(jié)果表明：電子束熱蒸發(fā)方法制備LLTO固態(tài) 電解質(zhì)薄膜，能應(yīng)用于全固態(tài)薄膜鋰電池。