本發(fā)明公開了一種基于鈮酸鋰薄膜的凹槽輔助式聲光調(diào)制器,其中,所述聲光調(diào)制器包括:鈮酸鋰薄膜層;設(shè)置于所述鈮酸鋰薄膜層上的鈮酸鋰薄膜波導(dǎo)和叉指換能器,其中,所述鈮酸鋰薄膜波導(dǎo)的頂部刻有凹槽。由于傳統(tǒng)的基于鈮酸鋰薄膜設(shè)計(jì)的聲光調(diào)制器中采用的光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)均為規(guī)則的條形波導(dǎo),規(guī)則的條形波導(dǎo)基于表面聲波產(chǎn)生的聲光互作用效率不高,而本發(fā)明在鈮酸鋰薄膜波導(dǎo)的頂部刻有凹槽,可以增強(qiáng)鈮酸鋰薄膜波導(dǎo)基于表面聲波產(chǎn)生的形變位移場(chǎng)與波導(dǎo)光學(xué)電磁場(chǎng)之間的相互作用,從而解決了現(xiàn)有聲光調(diào)制器中聲光互作用效率低的問題。
聲明:
“基于鈮酸鋰薄膜的凹槽輔助式聲光調(diào)制器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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