一種含有摻雜工藝的銅鋅錫硫薄膜制備方法，涉及光電材料及新能源材料領(lǐng)域，該方法可以有效解決銅鋅錫硫薄膜太陽(yáng)能電池吸收層即銅鋅錫硫薄膜的結(jié)晶性較差的問(wèn)題，其步驟包括：a、提供一襯底；b、將銅、鋅、錫三種金屬沉積在襯底上，形成金屬前軀體；c、在金屬前軀體上沉積含有銻元素的膜層作為摻雜層；d、將金屬前軀體及摻雜層在含硫的氣氛下熱處理，此過(guò)程中硫元素與銅鋅錫形成銅鋅錫硫薄膜。該方法改善了銅鋅錫硫的結(jié)晶性，降低了結(jié)晶溫度，提高了薄膜的質(zhì)量，同時(shí)還降低了工藝難度和成本，具有很好的推廣利用價(jià)值。