一種有機電致發(fā)光元件的制造方法,其包括:在支撐基板上形成第一電極層的工序;在上述第一電極層的上層形成發(fā)光層的工序;在上述發(fā)光層的上層形成電荷注入層的工序;在上述電荷注入層的上層形成金屬層的工序,所述金屬層含有選自鋁、銀、錫、銅以及含有它們中的2種以上的復合金屬材料中的材料;以及在上述金屬層的上層,采用低損傷濺射法、離子鍍法或CVD法使選自透明導電性氧化物、透明導電性氮化物以及它們的
復合材料中的電極材料層疊,形成上述第二電極層的工序。
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