本發(fā)明涉及一種氮化硅晶須增強氮化硅層狀陶瓷制備方法。使用流延法制備氮化硅晶須薄層預(yù)制體,然后使用化學(xué)氣相滲透工藝在預(yù)制體中制備氮化硅基體,得到氮化硅晶須增強氮化硅
復(fù)合材料。以復(fù)合材料為基片,在其兩側(cè)重復(fù)流延和化學(xué)氣相沉積工藝,直至材料厚度達到要求。使用流延法制備的晶須預(yù)制體晶須分散均勻,增強體體積分?jǐn)?shù)高。化學(xué)氣相沉積工藝相比于燒結(jié)可以降低制備溫度,減少對增強體的傷害,且不需使用燒結(jié)助劑,減少了雜質(zhì)相的影響。同時,晶須增韌和層狀復(fù)合增韌改善了氮化硅陶瓷的韌性。本發(fā)明能夠制備出介電性能和力學(xué)性能優(yōu)異的氮化硅晶須增強氮化硅層狀陶瓷。
聲明:
“氮化硅晶須增強氮化硅層狀陶瓷的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)