本發(fā)明涉及一種金剛石表面化學機械復合研磨拋光方法,采用復合材料作為研磨、拋光的工具磨盤,將其加熱至適當?shù)臏囟?然后作高速旋轉運動;以一定壓力將待加工金剛石膜/塊壓向磨盤表面,使其與磨盤表面發(fā)生高速摩擦,通過摩擦區(qū)的化學-機械復合循環(huán)作用,實現(xiàn)金剛石表面的高效研磨與拋光。該方法為化學-機械復合方式,研磨過程包括催化表層石墨化過程,機械刮除石墨層過程。在化學作用與機械作用的復合循環(huán)過程中,實現(xiàn)高效去除金剛石表面材料。所涉及的裝置,集成了加熱、加載功能,使用復合磨盤作為工具盤,其有益效果在于加工效率高,機械作用力小,加工質量好。本發(fā)明還涉及一種金剛石表面化學機械復合研磨拋光裝置。