本發(fā)明公開了一種復(fù)合相變材料靶材及其制備方法。該復(fù)合相變材料靶材由相變材料與另一種材料復(fù)合而成,制備時,首先將其中熔點較高的材料制備成圓柱狀作為基體,采用刻蝕工藝在此基體上制備出大小形狀相同且分布均勻的圓柱狀小孔,然后將熔點較低的材料填充在小孔中,通過真空熱壓燒結(jié)工藝使兩種材料結(jié)合在一起,最后采用機(jī)械拋光的方式處理表面,得到光滑、均勻致密的復(fù)合相變材料靶材。采用該方法制備的復(fù)合相變材料靶材中各成份分布均勻,組份可以根據(jù)小孔的大小和密度調(diào)解,解決了復(fù)合材料靶材各成份分布不均勻的問題;采用該靶材制備薄膜材料有利于實現(xiàn)兩種不同材料的均勻復(fù)合,避免了多靶共濺射工藝的復(fù)雜性和不穩(wěn)定性。