本發(fā)明涉及一種化學(xué)氣相沉積裝置及方法,尤其是涉及一種能夠?qū)崟r測量并控制多孔碳預(yù)制體增重率和增重速率的化學(xué)氣相沉積裝置及方法,適合于碳/碳復(fù)合材料或者碳/碳化硅復(fù)合材料在化學(xué)氣相沉積過程的增重率和增重速率的檢測,并可對沉積或滲透過程進行控制。其特征在于包括一套化學(xué)氣相沉積爐、一套電子地中衡和一套工控機所構(gòu)成的系統(tǒng)。本發(fā)明的優(yōu)點在于:(1)能夠?qū)崟r測量增重率和增重速率;(2)能夠自動識別沉積是否完成;(3)節(jié)約時間提高效率;(4)優(yōu)化化學(xué)氣相沉積工藝參數(shù);(5)依據(jù)沉積速率的變化自動識別判斷沉積過程發(fā)生的化學(xué)反應(yīng)特征,并對供水、供氣、供電、升降溫程序等進行相應(yīng)調(diào)整,達到智能控制。