本發(fā)明公開了一種碳/碳
多晶硅鑄錠爐整體式加熱器的制備方法。該方法是將已涂刷樹脂的炭布或針刺炭氈一層層纏繞于鋼模芯上制成預(yù)制體;經(jīng)加壓固化、炭化和化學(xué)氣相沉積增密處理,使加熱器制品密度達(dá)到≥1.50g/cm3;通過機械加工使之達(dá)到客戶要求的形狀和尺寸;最后經(jīng)過CVD碳化硅防護(hù)層和高溫純化處理制得碳/碳
復(fù)合材料多晶硅鑄錠爐整體式加熱器。本發(fā)明比現(xiàn)有的碳素材料加熱器的原材料消耗降低90%以上;產(chǎn)品表面有CVD表面沉積碳化硅防護(hù)層,阻隔了硅蒸汽和氧等對產(chǎn)品的侵蝕,使用壽命延長至少一倍以上。
聲明:
“碳/碳多晶硅鑄錠爐整體式加熱器的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)