本發(fā)明涉及一種聲表面波ASW器件的制作方 法,為增寬頻率調(diào)整范圍、提高器件溫度穩(wěn)定性而設 計。本發(fā)明以AlN/CT切石英
復合材料作為聲表 面波載體,具有超常的溫度穩(wěn)定性,且工藝簡便、實 用,用增加AlN膜厚的方法來調(diào)整器件的中心頻率 偏差,調(diào)頻范圍大,靈敏度高,調(diào)整后的器件頻率穩(wěn) 定。
聲明:
“高頻窄帶聲表面波器件的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)