一種力學(xué)性能測(cè)試技術(shù)的用于薄膜力學(xué)性能測(cè)試的單軸微拉伸試件,包括U型支撐平臺(tái)、移動(dòng)平臺(tái)、蛇形支撐彈簧、對(duì)中標(biāo)記、位移標(biāo)記,蛇形支撐彈簧連接U型支撐平臺(tái)和移動(dòng)平臺(tái),U型支撐平臺(tái)和移動(dòng)平臺(tái)與薄膜試樣的兩端懸空相連,對(duì)中標(biāo)記位于移動(dòng)平臺(tái)的上面,位移標(biāo)記粘接在靠近薄膜試樣、移動(dòng)平臺(tái)的尾端。本發(fā)明與國(guó)內(nèi)外現(xiàn)有微拉伸試件相比,制備工藝可行,重現(xiàn)性好,成品率高,并且克服了拉伸過程中由支撐梁塑性變形而引起的實(shí)驗(yàn)誤差。本發(fā)明集成式框架微拉伸試件適用于微機(jī)電系統(tǒng)中的各種單質(zhì)金屬、合金和復(fù)合材料等薄膜材料微觀力學(xué)性能測(cè)試。