一種陣列式柔性力敏傳感器包括:上絕緣保護(hù)層及圖形化于上絕緣保護(hù)層下表面的平行金屬行電極;下絕緣保護(hù)層及圖形化于下絕緣保護(hù)層上表面的平行金屬列電極;和位于行電極和列電極間的第一敏感膜層;第一敏感膜層由填充式敏感材料層和附著在該填充式敏感材料層上表面的填充式敏感材料凸形條或凸形塊組成;凸形條和凸形塊的縱截面均為楔形、錐形或鋸齒形;凸形條或凸形塊與列電極上下對齊;行電極與列電極呈空間垂直相交狀分布,其空間垂直相交的空間相交部分與該空間相交部分內(nèi)包含的第一敏感膜層構(gòu)成力敏單元;填充式敏感材料為絕緣柔性基體材料中均勻分散導(dǎo)電粒子的導(dǎo)電
復(fù)合材料;具有靈敏度高,性能穩(wěn)定,壽命長等優(yōu)點。
聲明:
“陣列式柔性力敏傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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