本發(fā)明涉及一種采用含氧前驅(qū)體化學(xué)氣相沉積制備稀土硅酸鹽陶瓷的方法，采用稀土氧化物作為反應(yīng)物，以CH₃SiCl₃作為先驅(qū)體、CO₂作為氧源，氫氣作為載氣和稀釋氣體、氬氣作為保護(hù)氣體，經(jīng)過(guò)化學(xué)氣相沉積，得到稀土硅酸鹽陶瓷。可用于制備稀土硅酸鹽陶瓷粉體，也可以用于制備稀土硅酸鹽陶瓷涂層，以及稀土硅酸鹽陶瓷改性結(jié)構(gòu)陶瓷及陶瓷基復(fù)合材料。本發(fā)明稀土硅酸鹽陶瓷的制備溫度低，解決了稀土硅酸鹽陶瓷制備溫度過(guò)高的問(wèn)題，制備過(guò)程操作簡(jiǎn)單，可重復(fù)性強(qiáng)，不會(huì)對(duì)材料形狀造成影響，可工業(yè)化生產(chǎn)，為化學(xué)氣相沉積制備稀土硅酸鹽陶瓷以及稀土硅酸鹽改性陶瓷基復(fù)合材料提供了新方法。