本發(fā)明公開(kāi)了一種復(fù)合精細(xì)遮罩，其包括復(fù)合材料薄片。復(fù)合材料薄片包括聚合物層、設(shè)置在所述聚合物層的第一表面的第一金屬層以及設(shè)置在所述聚合物層的第二表面的第二金屬層。復(fù)合材料薄片具有第一區(qū)和第二區(qū)，其中第一區(qū)環(huán)繞第二區(qū)。第一金屬層在第一區(qū)的一部分的厚度大于第一金屬層在第二區(qū)的另一部分的厚度，第二金屬層在第一區(qū)的一部分的厚度大于第二金屬層在第二區(qū)的另一部分的厚度。