本發(fā)明公開了一種具有碳化硅/硅涂層的炭/陶反應(yīng)器內(nèi)襯層，包括炭/陶復(fù)合材料反應(yīng)器內(nèi)襯層以及覆蓋在炭/陶復(fù)合材料反應(yīng)器內(nèi)襯層表面的碳化硅/硅涂層，碳化硅/硅涂層由碳化硅涂層和覆蓋在碳化硅涂層上的硅涂層組成；本發(fā)明還公開了一種具有碳化硅/硅涂層的炭/陶反應(yīng)器內(nèi)襯層的制備方法，該方法包括：一、炭纖維預(yù)制體增密；二、加工得炭/炭復(fù)合材料反應(yīng)器內(nèi)襯層；三、炭/炭復(fù)合材料反應(yīng)器內(nèi)襯層液相滲硅得炭/陶復(fù)合材料反應(yīng)器內(nèi)襯層；四、噴涂形成碳化硅/硅涂層。本發(fā)明通過設(shè)置碳化硅/硅涂層，避免了硅顆粒對反應(yīng)器內(nèi)襯層的磨損；本發(fā)明采用等離子噴涂法，提高了碳化硅/硅涂層與炭/陶反應(yīng)器內(nèi)襯層的結(jié)合強度。