本發(fā)明公開了一種多元混合涂層用高強(qiáng)韌鋁基復(fù)合靶材及其制備方法，靶材結(jié)構(gòu)包括鋁基復(fù)合材料以及鋁制背板，鋁基復(fù)合材料包括基體鋁粉和均勻分布于基體鋁粉中的顆粒狀的二硼化鉻、鉻和鎢粉；鋁基復(fù)合材料成分組成按質(zhì)量百分比計包括：二硼化鉻10％～20％，鉻30％～40％，鎢1％～10％，余量為鋁。采用本發(fā)明，可大幅降低鋁基復(fù)合材料的制備溫度，有效避免了脆性金屬間化合物的生成，保證了鋁基復(fù)合材料的高強(qiáng)韌性和高熱導(dǎo)率，可顯著提高鍍膜質(zhì)量。同時，鋁基復(fù)合材料及鋁制背板復(fù)合結(jié)構(gòu)可進(jìn)一步提高靶材的塑性和導(dǎo)熱特性，顯著提升多元混合涂層用靶材的鍍膜性能和使用壽命。