本發(fā)明具體涉及一種冷壁流化床的制備，并通過制備的冷壁流化床制備顆粒狀多晶硅的的方法，屬于光伏技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明制備的冷壁流化床，選用特殊高溫復(fù)合材料，提高設(shè)備耐高溫、耐腐蝕、耐壓性能；此種復(fù)合材料密度低，韌性強，不易破碎，易于安裝。此種復(fù)合材料通過多次鍍層、封閉，大大降低高溫腐蝕氣氛中對顆粒硅產(chǎn)品的污染，保證顆粒硅產(chǎn)品純度達到6N。本發(fā)明采用高頻感應(yīng)加熱方式加熱流化氣體和小顆粒硅粉：以高溫H2和高溫硅粉加熱原料三氯氫硅氣體，使其在小顆粒硅粉表面迅速達到反應(yīng)溫度，反應(yīng)主要在顆粒硅粉表面發(fā)生，大大提高了三氯氫硅沉積顆粒硅產(chǎn)品的效率。