本發(fā)明涉及一種基于納米復合材料的自驅動、自感知懸臂梁傳感器，其包括二氧化硅層、單晶硅層、壓阻感知層、PZT驅動電極層、PZT層、PZT層驅動電極金屬引線，PZT驅動電極層和PZT層形成U型結構，U型結構三面包圍的空間鋪有壓阻感知層，壓阻感知層的上端面設置有檢測電橋電阻和壓阻感知層金屬引線，U型結構封閉側的外側鋪有多晶硅納米膜和二氧化硅納米膜，利用多晶硅納米膜優(yōu)異的機械特性，減小懸臂梁彈性層的殘余應力，提升多層復合結構的穩(wěn)定性；通過嵌套式布局和階梯式結構等合理設計，保證傳感器的靈敏度和機械響應，推動精密傳感器技術智能化、集成化應用進程，在保證檢測靈敏度和重現性的基礎上，提高懸臂梁傳感器的集成化程度。