本實用新型涉及碳/碳復(fù)合材料坩堝窄流感應(yīng)耦合CVD致密化工裝及化學(xué)氣相沉積爐。所述致密化工裝包括感應(yīng)耦合工裝和氣流工裝，所述感應(yīng)耦合工裝和氣流工裝均與碳纖維坩堝制品相適配，以形成感應(yīng)電磁耦合和氣體窄縫流動通道，限制氣體在碳纖維坩堝制品表面交換層區(qū)流動，使流經(jīng)碳纖維坩堝制品表面的氣體原位熱解沉積形成碳基體。所述致密化化學(xué)氣相沉積爐包括真空感應(yīng)化學(xué)氣相沉積爐的反應(yīng)室，在反應(yīng)室中設(shè)有與碳纖維坩堝制品相適配的感應(yīng)耦合工裝和氣流工裝。本實用新型通過窄縫氣流和感應(yīng)耦合措施的協(xié)同作用下，抑制制品表面先結(jié)殼現(xiàn)象，使碳/碳復(fù)合材料坩堝制品快速的內(nèi)外均衡致密化。