發(fā)明涉及半導體復合材料技術領域，特別涉及一種貴金屬摻雜的半導體復合材料的制備方法。其步驟包括：將平面導電材準備；在非離子型高分子化合物中加入無水乙醇，攪拌，溶液中通氧10?20分鐘；溶液中加入金屬氯化物，攪拌溶解；加入貴金屬化合物溶液和非離子型表面活性劑，攪拌并緩慢加入堿性溶劑和水，形成溶膠；制備好的溶膠滴平面導電材料上，旋涂，使其表面覆蓋；然后300?600℃煅燒1?3小時，冷卻、水洗、吹干即可。該表現(xiàn)出極好的表面性質(zhì)，薄膜均勻致密且穩(wěn)定性良好，便于進行下一步材料的組裝。