本實(shí)用新型公開了一種C/C復(fù)合材料氣相沉積爐，包括爐體、進(jìn)氣系統(tǒng)和排氣系統(tǒng)，所述爐體為多晶硅鑄錠爐爐體，所述爐體的底部設(shè)有進(jìn)氣口、頂部設(shè)有排氣口，所述進(jìn)氣系統(tǒng)與進(jìn)氣口連接，所述排氣系統(tǒng)與排氣口連接。本實(shí)用新型提供了一種多晶硅鑄錠爐的改造思路，對(duì)現(xiàn)有多晶硅鑄錠爐的排氣模式以及進(jìn)氣模式進(jìn)行改造，使得多晶硅鑄錠爐具備了化學(xué)氣相沉積的能力，使其具備C/C復(fù)合材料預(yù)制體CVD致密化工藝的能力，合理利用了閑置的多晶硅鑄錠爐，有效的節(jié)約了制造成本。