本發(fā)明提供了一種金屬氧化物納米晶須/Si復(fù)合材料及其催化生長(zhǎng)方法。該發(fā)明具有如下優(yōu)點(diǎn)：1.生長(zhǎng)的納米晶須/Si復(fù)合材料形貌均勻可控，光學(xué)穩(wěn)定性好且具有較好耐高溫性能。2.能大幅的提升硅基太陽能電池片的各項(xiàng)性能參數(shù)和光電轉(zhuǎn)換效率。3.工藝簡(jiǎn)單，操作性強(qiáng)，原料廉價(jià)且能重復(fù)使用，生產(chǎn)成本低，效益高，適用于工業(yè)大生產(chǎn)。本發(fā)明工藝主要是運(yùn)用催化化學(xué)沉積方法，形成一層形貌均勻可控、厚度約為20-100nm的金屬氧化物納米晶須/Si復(fù)合材料。利用納米晶/量子點(diǎn)的陷光效應(yīng)、限域效應(yīng)和多重激子效應(yīng)等，大幅提高晶硅電池片的光電轉(zhuǎn)換效率。