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GaN微米棒陣列/石墨烯場(chǎng)發(fā)射陰極復(fù)合材料制備方法

1081   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 16:04:02
本發(fā)明公開(kāi)了一種GaN微米棒陣列/石墨烯場(chǎng)發(fā)射陰極復(fù)合材料制備方法,具體步驟如下:步驟1,對(duì)硅襯底鍍鉑薄膜,然后將鍍過(guò)鉑薄膜的硅襯底進(jìn)行退火處理,退火結(jié)束后自然冷卻到室溫,得到襯底A;步驟2,將步驟1得到的襯底A與反應(yīng)源一起進(jìn)行熱處理,襯底A與反應(yīng)源之間保持一定距離,反應(yīng)完成后自然冷卻到室溫,得到襯底B;步驟3,將步驟2得到的襯底B進(jìn)行熱處理,反應(yīng)完成后自然降溫至室溫,即得GaN微米棒陣列/石墨烯場(chǎng)發(fā)射陰極復(fù)合材料。通過(guò)該方法制備得到的GaN微米棒陣列/石墨烯場(chǎng)發(fā)射陰極復(fù)合材料具有優(yōu)良的場(chǎng)發(fā)射特性。
聲明:
“GaN微米棒陣列/石墨烯場(chǎng)發(fā)射陰極復(fù)合材料制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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