本發(fā)明提供了一種基于六方氮化硼納米片/氧化鐵納米顆粒復(fù)合材料的氣敏元件及其制備方法和應(yīng)用，屬于半導(dǎo)體材料技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明以六方氮化硼納米片/氧化鐵納米顆粒復(fù)合材料作為氣敏材料，利用六方氮化硼納米片高導(dǎo)熱率、低熱膨脹系數(shù)、低介電常數(shù)、高化學(xué)穩(wěn)定性和高比表面積的性質(zhì)，結(jié)合氧化鐵納米顆粒對正丁醇?xì)怏w的高靈敏度，可以提高氣敏元件的氣敏性能。實(shí)施例結(jié)果表明，本發(fā)明提供的基于六方氮化硼納米片/氧化鐵納米顆粒復(fù)合材料的氣敏元件用于正丁醇?xì)怏w檢測時(shí)，響應(yīng)時(shí)間為12.6s，恢復(fù)時(shí)間為27s，最佳工作溫度為375℃。