本發(fā)明提供一種新型圖案化碳-錫復(fù)合材料微結(jié)構(gòu)的微加工工藝，包括如下步驟：通過水熱法制取“自下而上”的SnO2球狀微納米結(jié)構(gòu)；通過紫外光刻、半導(dǎo)體微加工工藝，制取圖案化光刻膠-SnO2納米復(fù)合材料微結(jié)構(gòu)；通過惰性氣氛下的熱解碳化-還原，制取圖案化碳-錫復(fù)合材料微結(jié)構(gòu)。本發(fā)明提出了一種基于C-MEMS的優(yōu)化工藝以制作圖案化的碳-錫復(fù)合材料微結(jié)構(gòu)，該工藝融合利用了半導(dǎo)體領(lǐng)域的相關(guān)技術(shù)和微納米結(jié)構(gòu)合成的方法，工藝簡潔、相關(guān)技術(shù)成熟，可應(yīng)用于大規(guī)模生產(chǎn)，所得到的碳-錫復(fù)合材料微結(jié)構(gòu)有著較好的機(jī)械性能，較高的化學(xué)穩(wěn)定性和較好的電化學(xué)性能。