本發(fā)明涉及一種制備高純納米多晶硅顆粒的裝置及制備高純納米多晶硅顆粒的方法，首先利用電子束熔煉法制備晶粒為納米級別、疏松多孔的高純氣相沉積硅；然后行星式球磨機球磨氣相沉積硅，獲得納米多晶硅顆粒；把納米多晶硅顆粒與水混合，攪拌、超聲沉淀去除較大顆粒；舍去沉淀在底部較大顆粒的硅泥，取上層懸浮液倒入離心管，置于高速離心機分離；把沉淀在離心管底部的硅顆粒置于真空干燥箱干燥，得到粒徑小于500nm，且D50≤100nm的多晶硅顆粒，該方法解決了目前納米硅顆粒結(jié)晶性差、純度低的問題，提高了生產(chǎn)效率，制備的硅顆粒純度高、結(jié)晶性良好、粒徑分布窄。