本發(fā)明揭示了一種鑲嵌
功能材料微納孔的制備方法,本發(fā)明用各向同性金屬沉積的方法在提供的帶納米孔的襯底上鍍一層所需的金屬,再對樣品用斜角離子束拋光設(shè)備以角度小于10°的夾角進(jìn)行拋光處理直到樣品上表面的金屬材料全部去除,從而得到所需要的鑲嵌功能材料微納孔。
聲明:
“鑲嵌功能材料微納孔結(jié)構(gòu)及其制備方法和使用方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)