本發(fā)明公開一種敏感膜、MEMS麥克風及其制作方法,該敏感膜包括感測部,用于感測振動信號;連接部,所述連接部環(huán)繞所述感測部設置,并用于固定所述感測部;動作部,所述動作部連接所述感測部和所述連接部,所述動作部的剛度小于所述感測部的剛度和/或所述連接部的剛度;以及補強部,所述補強部設于所述動作部。本發(fā)明技術方案旨在提高敏感膜的結構強度,降低敏感膜破裂失效的概率。
聲明:
“敏感膜、MEMS麥克風及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)