本發(fā)明公開(kāi)一種敏感膜、MEMS麥克風(fēng)及其制作方法，該敏感膜包括感測(cè)部，用于感測(cè)振動(dòng)信號(hào)；連接部，所述連接部環(huán)繞所述感測(cè)部設(shè)置，并用于固定所述感測(cè)部；動(dòng)作部，所述動(dòng)作部連接所述感測(cè)部和所述連接部，所述動(dòng)作部的剛度小于所述感測(cè)部的剛度和/或所述連接部的剛度；以及補(bǔ)強(qiáng)部，所述補(bǔ)強(qiáng)部設(shè)于所述動(dòng)作部。本發(fā)明技術(shù)方案旨在提高敏感膜的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度，降低敏感膜破裂失效的概率。